隋唐的监察体系，跟前代略有不同。在原来负责监察中央和地方官的两套机构之上，又设置了一个总领协调的机构，形成了三套班底。东汉以来，原来御史台的负责人御史大夫转为司空，御史中丞变成了御史台真正的主持者。进入隋朝之后，将御史中丞改为御史大夫，主持御史台，另置治书侍御史2人为副。唐朝则改治书侍御史为御史中丞，恢复了西汉体制。
御史台下设三院，一为殿院，设殿中侍御史，隋朝12人，唐朝设9人，官阶从七品下，负责上朝礼仪纠察和京师城内的巡查。二为察院，设监察御史，隋制12人，唐制15人，官阶正八品上。负责监察百官和分巡地方。监察御史以入院先后排座次，以先人者为尊，其各自的任务也有区别，资格最老的三人负责监察各部。每人分两个部，其余的分巡地方，资格最浅的，巡查的地方最远、最苦。
资格老的监察御史相当威风。京兆人高丽，是为御史台送公文的差役，御史台令史伪造文书诈骗，事情败露，令史逃跑。御史张孝嵩抓高丽顶罪，严刑逼供，使高丽两脚残废，锻成死罪。大理寺抗命，认为依法人已残废不应再加刑（处死），御史大怒，说，两只脚废了也不耽误他造伪！于是令两人夹着高丽赴街市，杀掉了。（张鹜：《朝野佥载》卷2）
在殿院和察院之上，设置台院，内设侍御史，隋制8人，唐制6人，官阶从六品下，负责总理御史台的一切事务。其中，以年资最老的侍御史一人，担任知杂侍御史，负责挑选和考评御史和处理杂务。其次设知公廨侍御史一人，负责日常事务。再次设知弹纠侍御史一人，负责协调对官员的弹劾事宜。最后另设知推侍御史2人，分别负责“东推”和“西推”，东推掌管纠察京师百官的违法失职案件，西推掌管地方州县的官员违法失职案件。殿院的殿中侍御史和察院的监察御史，按例要协助东西推工作。
唐大中十二年正月，含元殿大朝会，太子少师柳公权八十高龄，为百官班首，上朝朝贺。然而待仪式行半，已经疲劳不堪，及轮到给皇帝上尊号“圣敬文思和武光孝皇帝”时，把“和武光孝”念成“光武和孝”，结果当场遭到御史的弹劾，被罚俸一季。（王谠：《唐语林校证》卷4）侍御史的主要工作，就是监督百官上朝时的礼仪行止。
武则天时，张衡令史出身，位至四品，快要升三品了。一次退朝，路旁见蒸饼新熟，馋人之极，便买了一个，在马上吃了。因此遭到御史弹劾，说他行为不像大臣。结果武则天下令，不许他再升三品。（张莺：《朝野佥载》卷4）
此外，唐朝分设东西两都。在不常驻的东都洛阳，按规矩要留一个御史中丞和侍御史，留守机构人称“留台”。
除御史台之外，由于尚书省长官已经变成宰相，而下属的六部又逐渐成为行政执行的基本部门，功能渐次独立，所以，尚书省的副长官尚书左右丞，无事可管，就演变成了另类的监察官员。他们不仅负有监察百官之责，而且还可以弹纠不称职的御史。
隋唐地方区划比较小，中央政府对地方的控制存在问题，因此，特别注意对地方官的监察。朝廷往往设置专门的监察机关和人员，加强对地方的监督。隋朝有专门的司隶、谒者两台，设刺史巡查地方。唐朝则定期派出观风俗使、巡察使、按察使、采访使等官员，与监察御史一道，担负巡查地方的责任。后来，原设的各使大多演变成实体性地方官，于是，朝廷利用盐铁转运使来承担监察任务。
唐朝的门下省长官被列为宰相，但门下省官员却依然担负着谏议的责任。门下省的左右散骑常侍、左右谏议大夫都相当活跃，经常给皇帝提意见，对宰相的政务处理发表不同意见，甚至干涉朝廷大员的任用。唐朝还设有前代所没有的谏议官员，即左右拾遗、左右补阙，左隶属门下省，右则隶属中书省。
阳城为谏议大夫，唐德宗想用裴延龄为相，结果被阳城得知，誓死反对，最后德宗居然改了主意。（王谠：《唐语林校证》卷3）
唐朝是中国历史上少有的盛世，中前期政治比较开明，因此监察体系作用发挥得比较好。御史和谏官不仅弹劾违法官员，而且经常给皇帝提意见。这使得皇帝们时常要为之改变自己的做事习惯，百官的行为也有所收敛。唐朝的监察官员经常在朝堂之上，在百官聚会的朝会上当众宣读弹章，令被弹劾者十分难堪。
唐高宗显庆元年，侍御史王义方在朝会之上，当众弹劾中书侍郎李义府逼杀大理寺官员。弹章念毕，他大声呵斥李义府退出行列，李义府自恃官高爵重，姑望不肯退。王义方再三呵斥，李一直看着皇帝，可皇帝一句话也不说，李不得已退下。（《唐会要》卷61）
到了唐朝晚期，检察系统的作用大打折扣，御史自身贪渎，玩忽职守，谏议无人听从，整个官僚机器趋于锈蚀，王朝也就寿终正寝了。
洛州司佥严升期摄侍御史，于江南巡查。此公喜欢吃牛肉，所至州县，人家都要为他宰牛漉酒。事无大小，只要给他金子，就大事化小，小事化了。所到之处，金价为之上涨，人称“金牛御史”。（张鷟：《朝野佥载》卷3）
